納米位移臺的周期性誤差，通常指的是由導(dǎo)螺桿、絲杠等機械傳動部件固有的制造缺陷（如螺距誤差）引起的，在移動特定距離（通常為一圈）時重復(fù)出現(xiàn)的定位誤差。校準這種誤差需要使用高精度的反饋傳感器進行閉環(huán)補償。
以下是系統(tǒng)性校準的步驟和方法：
核心原理：基于參考的閉環(huán)映射與補償
校準的本質(zhì)是比較指令位置和實際位置，建立誤差映射表，并進行實時補償。
標準校準流程
準備工作
高精度參考傳感器：這是校準的關(guān)鍵。需要使用比位移臺自身精度高一個數(shù)量級的傳感器，如：
激光干涉儀：提供高精度的長度基準。
高精度電容傳感器或光柵尺：同樣可以作為可靠的參考。
穩(wěn)定環(huán)境：在校準前，確保設(shè)備在恒溫、無振動、無氣流干擾的環(huán)境下穩(wěn)定足夠長的時間（例如24小時），以最小化環(huán)境帶來的測量誤差。
數(shù)據(jù)采集（建立誤差映射表）
將參考傳感器安裝在位移臺上，使其能夠精確測量臺面的實際位移。
通過控制器，命令位移臺以極小且均勻的步長（遠小于誤差周期）在其全程內(nèi)移動。
在每一個步長處，同時記錄：
指令位置：位移臺控制器發(fā)出的位置指令。
實際位置：由參考傳感器測量到的真實位置。
這樣，您就得到了一系列數(shù)據(jù)點，描繪出整個行程內(nèi)“指令位置”與“實際位置”之間的差異。
誤差分析與建模
將采集到的數(shù)據(jù)進行分析，計算每個點的誤差：誤差 = 實際位置 – 指令位置。
繪制誤差曲線。對于周期性誤差，您會看到一條圍繞零值周期性波動的曲線。
控制器軟件會利用這些數(shù)據(jù)，通過算法（如查表法插值或傅里葉分析擬合）生成一個誤差補償表。這個表告訴控制器，當移動到某個指令位置時，需要增加或減少多少位移量來進行修正。
補償表上傳與驗證
將生成的誤差補償表上傳或燒錄到位移臺的控制器中。
重新進行測量驗證：讓位移臺再次在全行程內(nèi)移動，并比較補償后的實際位置與指令位置。校準成功的標志是 residual error（殘余誤差）被顯著降低，達到一個可接受的水平。