納米位移臺噪音大，可能影響測量精度和實(shí)驗(yàn)環(huán)境。處理方法可以從 機(jī)械、控制和環(huán)境 三方面入手：
1. 機(jī)械結(jié)構(gòu)與潤滑優(yōu)化
檢查導(dǎo)軌和絲桿：清除灰塵、顆粒或雜質(zhì)，避免摩擦不均。
潤滑：使用適合的真空脂或低噪音潤滑劑，減少摩擦噪聲。
緊固件檢查：松動的螺絲或支架容易引起共振噪音，應(yīng)及時擰緊。
減少松動間隙：結(jié)構(gòu)松弛會導(dǎo)致振動放大，影響噪音。
2. 控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)
減小驅(qū)動電流：過大的電流會產(chǎn)生振動噪聲。
優(yōu)化運(yùn)動速度和加速度：快速啟動或停止會產(chǎn)生沖擊噪音，可降低速度或使用緩啟動模式。
閉環(huán)控制：開啟閉環(huán)反饋，可通過補(bǔ)償誤差減少機(jī)械震動。
濾波與減震：在控制器中使用適當(dāng)濾波，降低高頻振動。
3. 環(huán)境因素
安裝減震臺：使用隔振平臺或橡膠墊，避免外界振動傳入。
溫度均勻：自熱會導(dǎo)致材料膨脹不均，從而產(chǎn)生微小振動噪聲。
遠(yuǎn)離噪聲源：如風(fēng)扇、泵或其他機(jī)械設(shè)備。